Dünnschicht-Messtechnik

In dieser Kategorie finden Sie Messköpfe, Durchführungen und Messwertaufnehmer sowie Kabel und weiteres Zubehör- und Verbrauchsmaterial. BeamTec bietet Messköpfe der Firma McVac Inc., die sich auf Quarzmessköpfe für die Schichtdickenmessung und statistische Vakuum-Durchführungen spezialisiert hat. Das Produktprogramm umfasst Messköpfe und Durchführungen für den Hochvakuum- und UHV-Bereich mit verschiedensten Flanschkonfigurationen. Wir fertigen auch kundenspezifische Komponenten für Sie an, falls ein Produkt aus dem umfangreichen Lieferprogramm für Ihre Applikation nicht passend wäre. Unsere Quarz-Monitore wurden auf Zuverlässigkeit und Benutzerfreundlichkeit ausgelegt und bieten dennoch alle Funktionen, die für die manuelle Steuerung des Abscheidungsprozesses erforderlich sind. Neben Schichtdicken-Controllern für die Quarz Messtechnik bietet die BeamTec GmbH auch Kombinationsmodule aus Messwertaufnehmer und Oszillator an. Diese werden zwischen Sensordurchführung und übergeordnete Steuerung installiert. Der Messwertaufnehmer liefert Daten wie Quarzfrequenz, Lebenszeit, Rate und Schichtdicke an einen PC oder an eine SPS über eine serielle Schnittstelle (USB, RS232, RS485 oder Ethernet).

Messkopfdurchführung CF40; 3x3/16 in.

Sensordurchführung CF40 CF40 Flansch; 4x 3/16" Rohre 2x Microdot/BNC-Anschluss

Part number: MV-400-013

760,00 €

Messkopfdurchführung CF40; 4 x BNC-Microdot

Sensordurchführung CF40 CF40 Flansch; 4x Microdot-Anschluss VAC; BNC ATM

Part number: MV-400-005

795,00 €

Messkopfdurchführung CF40; 4,5 in.

Sensordurchführung CF40 4,5" 8 Micro Dot Kabel

Part number: MV-400-021

1.295,00 €

Messkopfdurchführung CF40; UltraTorr 2x 1/8 in.

Sensordurchführung CF40 CF40 Flansch; 2x 1/8" UltraTorr 1x Microdot-Anschluss VAC; BNC ATM

Part number: MV-400-002

545,00 €

Messkopfdurchführung für 32 mm Bohrung

1 1/4 in Sensordurchführung für 32 mm Bodenlochmontage 4x BNC/Microdot-Anschlüsse

Part number: MV-300-009

755,00 €

Messkopfdurchführung für 32mm Bohrung

1 1/4" Sensordurchführung passend für Doppelmesskopf mit Shutter für 32mm Bodenlochmontage 2x 3/16" Wasser 1x 3/16" Pneumatik 2x BNC/Microdot-Anschlüsse

Part number: MV-300-007

720,00 €

MicroDot - BNC Kabel 15 cm

MicroDot - BNC Kabel 15 cm Stecker 1: MicroDot männlich Stecker 2: BNC männlich RG316; 50 Ohm

Part number: BT-900-002

95,00 €

MicroDot Kabel, in-Vakuum, 10 in

MicroDot Kabel, in-Vakuum, 10 in 250 mm Länge

Part number: MV-900-001-10

110,00 €

MicroDot Kabel, in-Vakuum, 12 in

MicroDot Kabel, in-Vakuum, 12 in 300 mm Länge

Part number: MV-900-001-12

110,00 €

MicroDot Kabel, in-Vakuum, 30 in

MicroDot Kabel, in-Vakuum, 30 in 760 mm Länge

Part number: MV-900-001

110,00 €

MicroDot Kabel, in-Vakuum, 4m

MicroDot Kabel, in-Vakuum, 4m Kabelspezifikation: - versilbertes Kupfergeflecht - Dielektrikum: PTFE - versilberter Innenleiter 7/0067 SPCW

Part number: MV-900-001-4M

195,00 €

MicroDot Kabel, Teflon

MicroDot Kabel, in-vacuum 760 mm Länge; Teflon-Isolation

Part number: MV-900-001T

110,00 €

Oszillator

Oszillator Revision Q - Rechteck-Gehäuse

Part number: MV-900-004

235,00 €

Oszillator & Kabel Satz

Oszillator & Kabel Satz - Oszillator (male-female) MV-900-004 - 10' BNC Kabel (male-male) BT-900-005 - 6" BNC Kabel (male-male) BT-900-006

Part number: BT-700-850

275,00 €

Pneumatischer Shutter - Nachrüstungsset

Pneumatischer Shutter - Nachrüstungsset für Einfachmesskopf inkl. 1/8" Rohrzuleitung

Part number: MV-700-050

1.995,00 €

QMB6 Dual-Quarz Messwertaufnehmer - USB

QMB6 Dual-Quarz Messwertaufnehmer - USB beinhaltet 2 integrierte Oszillatoren für 6 MHz Quarze 2x BNC Anschluss zum Anschluss von Messkopf; Windows-Bediensoftware Max. Auflösung: 0,1 Hz @10 Hz Abtastfrequenz Abtastung: 0.5, 1, 2, 4, 10 Hz einstellbar Schnittstelle: USB; ModBUS-RTU Protokoll Versorgungsspannung: 5 VDC über USB-Schnittstelle; Gehäuseabmessungen (BxHxT in mm): 61x26x96

Part number: BT-QMB6-S-U-I

910,00 €

QMB6 Dual-Quarz Messwertaufnehmer - USB

QMB6 Dual-Quarz Messwertaufnehmer - USB für 6 MHz Quarze; unterstützt 2 externe Ozillatoren oder 1x extern/1x intern; 2x BNC Anschluss zum Anschluss von Messkopf; Windows-Bediensoftware Max. Auflösung: 0,1 Hz @10 Hz Abtastfrequenz Abtastung: 0.5, 1, 2, 4, 10 Hz einstellbar Schnittstelle: USB; ModBUS-RTU Protokoll Versorgungsspannung: 5 VDC über USB-Schnittstelle; Gehäuseabmessungen (BxHxT in mm): 61x26x96 inkl. 3m USB-A zu USB-B Kabel; 15 cm BNC-BNC Kabel

Part number: BT-QMB6-S-U

760,00 €

QMB6 Quarz Messwertaufnehmer

QMB6 Dual-Quarz Messwertaufnehmer für 6 MHz Quarze; unterstützt 2 externe Ozillatoren oder 1x extern/1x intern; "High Resolution" Auswerteeinheit; 2x BNC Anschluss zum Anschluss von Messkopf; Windows-Bediensoftware Max. Auflösung: 0,01 Hz @10 Hz Abtastfrequenz Abtastung: 0.5, 1, 2, 4, 10 Hz einstellbar Schnittstelle: RS485; ModBUS-RTU Protokoll Versorgungsspannung: 12 - 24 VDC; inkl. 12V Steckernetzteil Gehäuseabmessungen (BxHxT in mm): 61x26x106

Part number: BT-QMB6-H-4

865,00 €

QMB6 Quarz Messwertaufnehmer

QMB6 Dual-Quarz Messwertaufnehmer für 6 MHz Quarze; unterstützt 2 externe Ozillatoren oder 1x extern/1x intern; "High Resolution" Auswerteeinheit; 2x BNC Anschluss zum Anschluss von Messkopf; Windows-Bediensoftware Max. Auflösung: 0,01 Hz @10 Hz Abtastfrequenz Abtastung: 0.5, 1, 2, 4, 10 Hz einstellbar Schnittstelle: USB; ModBUS-RTU Protokoll Versorgungsspannung: 5 VDC über USB-Schnittstelle; Gehäuseabmessungen (BxHxT in mm): 61x26x96 Gewicht: 0,2 kg Lieferumfang: QMB6-Einheit; USB-A auf USB-B Kabel; BNC-BNC Kabel 15 cm; Testquarz; USB-Stick mit QBM6 Software und Manuals

Part number: BT-QMB6-H-U

845,00 €

QMB6 Quarz Messwertaufnehmer

QMB6 Dual-Quarz Messwertaufnehmer, RS232 für 6 MHz Quarze; unterstützt 2 externe Ozillatoren oder 1x extern/1x intern; 2x BNC Anschluss zum Anschluss von Messkopf; Windows-Bediensoftware Max. Auflösung: 0,1 Hz @10 Hz Abtastfrequenz Abtastung: 0.5, 1, 2, 4, 10 Hz einstellbar Schnittstelle: RS232; ModBUS-RTU Protokoll Versorgungsspannung: 12 - 24 VDC; inkl. 12V Steckernetzteil Gehäuseabmessungen (BxHxT in mm): 61x26x106 Gewicht: 0,2 kg

Part number: BT-QMB6-S-2

760,00 €

QMB6 Quarz Messwertaufnehmer

QMB6 Dual-Quarz Messwertaufnehmer - RS485 für 6 MHz Quarze; unterstützt 2 externe Ozillatoren oder 1x extern/1x intern; 2x BNC Anschluss zum Anschluss von Messkopf; Windows-Bediensoftware Max. Auflösung: 0,01 Hz @10 Hz Abtastfrequenz Abtastung: 0.5, 1, 2, 4, 10 Hz einstellbar Schnittstelle: RS485; ModBUS-RTU Protokoll Versorgungsspannung: 12 - 24 VDC; inkl. 12V Steckernetzteil Gehäuseabmessungen (BxHxT in mm): 61x26x106 Gewicht: 0,2 kg

Part number: BT-QMB6-S-4

760,00 €

QMB6 Quarz Messwertaufnehmer

QMB6 Dual-Quarz Messwertaufnehmer, PoE-Schnittstelle für 6 MHz Quarze; unterstützt 2 externe Ozillatoren oder 1x extern/1x intern; 2x BNC Anschluss zum Anschluss von Messkopf; Windows-Bediensoftware Max. Auflösung: 0,1 Hz @10 Hz Abtastfrequenz Abtastung: 0.5, 1, 2, 4, 10 Hz einstellbar Schnittstelle: Ethernet Buchse; ModBUS-TCP Protokoll Versorgungsspannung: PoE, RJ45-Buchse; inkl. PoE Injector mit 48VDC Steckernetzteil Gehäuseabmessungen (BxHxT in mm): 61x26x116

Part number: BT-QMB6-S-E

800,00 €

QMB6 Quarz Messwertaufnehmer

QMB6 Dual-Quarz Messwertaufnehmer beinhaltet 2 integrierte Oszillatoren für 6 MHz Quarze; "High Resolution" Auswerteeinheit; 2x BNC Anschluss zum Anschluss von Messkopf; Windows-Bediensoftware Max. Auflösung: 0,01 Hz @10 Hz Abtastfrequenz Abtastung: 0.5, 1, 2, 4, 10 Hz einstellbar Schnittstelle: USB; ModBUS-RTU Protokoll Versorgungsspannung: 5 V DC über USB-Schnittstelle; Gehäuseabmessungen (BxHxT in mm): 61x26x96 Lieferumfang: QMB6-Einheit; USB-A auf USB-B Kabel; BNC-BNC Kabel 15 cm; Testquarz; USB-Stick mit QBM6 Software und Manuals

Part number: BT-QMB6-H-U-I

1.015,00 €

QMB6 Quarz Messwertaufnehmer

QMB6 Dual-Quarz Messwertaufnehmer für 6 MHz Quarze; unterstützt 2 externe Ozillatoren oder 1x extern/1x intern; "High Resolution" Auswerteeinheit; 2x BNC Anschluss zum Anschluss von Messkopf; Windows-Bediensoftware Max. Auflösung: 0,01 Hz @10 Hz Abtastfrequenz Abtastung: 0.5, 1, 2, 4, 10 Hz einstellbar Schnittstelle: RS232; ModBUS-RTU Protokoll Versorgungsspannung: 12 - 24 VDC; inkl. 12V Steckernetzteil Gehäuseabmessungen (BxHxT in mm): 61x26x106 Gewicht: 0,2 kg

Part number: BT-QMB6-H-2

865,00 €

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UPDATE 2025-07-21: