Dünnschicht-Messtechnik

In dieser Kategorie finden Sie Messköpfe, Durchführungen und Messwertaufnehmer sowie Kabel und weiteres Zubehör- und Verbrauchsmaterial. BeamTec bietet Messköpfe der Firma McVac Inc., die sich auf Quarzmessköpfe für die Schichtdickenmessung und statistische Vakuum-Durchführungen spezialisiert hat. Das Produktprogramm umfasst Messköpfe und Durchführungen für den Hochvakuum- und UHV-Bereich mit verschiedensten Flanschkonfigurationen. Wir fertigen auch kundenspezifische Komponenten für Sie an, falls ein Produkt aus dem umfangreichen Lieferprogramm für Ihre Applikation nicht passend wäre. Unsere Quarz-Monitore wurden auf Zuverlässigkeit und Benutzerfreundlichkeit ausgelegt und bieten dennoch alle Funktionen, die für die manuelle Steuerung des Abscheidungsprozesses erforderlich sind. Neben Schichtdicken-Controllern für die Quarz Messtechnik bietet die BeamTec GmbH auch Kombinationsmodule aus Messwertaufnehmer und Oszillator an. Diese werden zwischen Sensordurchführung und übergeordnete Steuerung installiert. Der Messwertaufnehmer liefert Daten wie Quarzfrequenz, Lebenszeit, Rate und Schichtdicke an einen PC oder an eine SPS über eine serielle Schnittstelle (USB, RS232, RS485 oder Ethernet).

QMB6 Quarz Messwertaufnehmer

QMB6 Dual-Quarz Messwertaufnehmer für 6 MHz Quarze; unterstützt 2 externe Ozillatoren oder 1x extern/1x intern; "High Resolution" Auswerteeinheit; 2x BNC Anschluss zum Anschluss von Messkopf; Windows-Bediensoftware Max. Auflösung: 0,01 Hz @10 Hz Abtastfrequenz Abtastung: 0.5, 1, 2, 4, 10 Hz einstellbar Schnittstelle: RS232; ModBUS-RTU Protokoll Versorgungsspannung: 12 - 24 VDC; inkl. 12V Steckernetzteil Gehäuseabmessungen (BxHxT in mm): 61x26x106 Gewicht: 0,2 kg

Part number: BT-QMB6-H-2

865,00 €

QMB6 Quarz Messwertaufnehmer

QMB6 Dual-Quarz Messwertaufnehmer, PoE-Schnittstelle für 6 MHz Quarze; unterstützt 2 externe Ozillatoren oder 1x extern/1x intern; "High Resolution" Auswerteeinheit; 2x BNC Anschluss zum Anschluss von Messkopf; Windows-Bediensoftware Max. Auflösung: 0,01 Hz @10 Hz Abtastfrequenz Abtastung: 0.5, 1, 2, 4, 10 Hz einstellbar Schnittstelle: Ethernet Buchse; ModBUS-TCP Protokoll Versorgungsspannung: PoE, RJ45-Buchse; inkl. PoE Injector mit 48VDC Steckernetzteil Gehäuseabmessungen (BxHxT in mm): 61x26x116

Part number: BT-QMB6-H-E

985,00 €

QMB6 Quarz Messwertaufnehmer

QMB6 Dual-Quarz Messwertaufnehmer für 6 MHz Quarze; inkl. 2 interne Ozillatoren; "Standard Resolution" Auswerteeinheit; 2x BNC Anschluss zum Anschluss von Messkopf; Windows-Bediensoftware Max. Auflösung: 0,1 Hz @10 Hz Abtastfrequenz Abtastung: 0.5, 1, 2, 4, 10 Hz einstellbar Schnittstelle: RS232; ModBUS-RTU Protokoll Versorgungsspannung: 12 - 24 VDC; inkl. 12V Steckernetzteil Gehäuseabmessungen (BxHxT in mm): 61x26x106

Part number: BT-QMB6-S-2-I

910,00 €

QMB6 Quarz Messwertaufnehmer

QMB6 Dual-Quarz Messwertaufnehmer, PoE-Schnittstelle für 6 MHz Quarze; 2x integrierte Oszillatoren; "Standard Resolution" Auswerteeinheit; 2x BNC Anschluss zum Anschluss von Messkopf; Windows-Bediensoftware Max. Auflösung: 0,1 Hz @10 Hz Abtastfrequenz Abtastung: 0.5, 1, 2, 4, 10 Hz einstellbar Schnittstelle: Ethernet Buchse; ModBUS-TCP Protokoll Versorgungsspannung: PoE, RJ45-Buchse; inkl. PoE Injector mit 48VDC Steckernetzteil Gehäuseabmessungen (BxHxT in mm): 61x26x116

Part number: BT-QMB6-S-E-I

960,00 €

QSK12-fach Quarzmesskopf

12-fach Quarzmesskopf für 12 Standard 14 mm Quarze - integrierter Schrittmotorantrieb mit Referenzposition - freie Positionierung des Quarzwechlslers in der Kammer - KF16-Flanschanschluss zur Auskoppung der Medien (Wasser, HF-Signal, Schrittmotor, Referenzposition) - Wasser: 2x 6x4 mm PU Schlauch; Länge 1,5m - HF-Signal: RG318 Kabel mit Mikrodot-Buchse (MD female) ; RG316 1,2m - Referenzposition: Kabel 3 polig; 1,5m - Motor: Kabel 4 polig; 1,5 m - Gehäusedurchmesser: 102 mm - Wechselmagazindurchmesser: 92 mm - Bauhöhe: 72 mm

Part number: BT-QSK12-KF

7.900,00 €

Quarzhalter inklusive Feder

Part number: MV-700-005

185,00 €

RG58C Koaxialkabel, BNC m / m, 0,50 m

RG58C Koaxialkabel, BNC m / m, 0,50 m1.5 ft

Part number: BT-900-006-050

40,00 €

RG58C Koaxialkabel, BNC m / m, 10.0 ft

RG58C Koaxialkabel, BNC m / m, 10.0 ft 3 m - RoHS konform

Part number: BT-900-005

40,00 €

RG58C Koaxialkabel, BNC m / m, 15.0 ft

RG58C Koaxialkabel, BNC m / m, 15.0 ft 4,57 m

Part number: BT-900-005-15

30,00 €

RG58C Koaxialkabel, BNC m / m, 25.0 ft

Part number: BT-900-005-25

45,00 €

RG58C Koaxialkabel, BNC m / m, 6.0 in.

RG58C Koaxialkabel, BNC m / m, 15 cm passend für Anschluss an externen Oszillator

Part number: BT-900-006

Ab 17,00 €

Details

Shutterblende für QSK Quarzmesskopf

Shutter für QSK-Quarzmesskopf, UHV kompatibel pneumatisch betriebener Druckluftylinder, ausheizbar 300° C Pneumatikzuleitung: 1/8" Edelstahlrohr mit 1/8" Swagelok-Fitting Ausführung R

Part number: BT-QSK-PNSH-R

1.950,00 €

Shutterblende für QSK Quarzmesskopf

Shutter für QSK-Quarzmesskopf, UHV kompatibel pneumatisch betriebener Druckluftylinder; ausheizbar 300° C Pneumatikzuleitung: 1/8" Edelstahlrohr mit 1/8" Swagelok-Fitting Ausführung L

Part number: BT-QSK-PNSH-L

1.950,00 €

Standard Einfach-Messkopf auf KF40

Standard Einfach-Messkopf auf KF40 2 x 3/16 in. Wasserleitungen Länge: kundenspezifisch inkl. In-Vakuum Kabel Anschlüsse: BNC an Atmosphäre, Micodot im Vakuum

Part number: MV-800-086

1.240,00 €

TFM260 Quarz Monitor

TFM260 Quarz Monitor für 2 Sensoren mit Touch Screen Bedienung unterstützt 2 externe Ozillatoren; (bis zu 6 optional) und 1x QMB6 "High Resolution" Auswerteeinheit; Max. Auflösung: 0,01 Hz @10 Hz Abtastfrequenz Abtastung: 0.5, 1, 2, 4, 10 Hz einstellbar Messwertfilterung: 1-20 Samples mit Gewichtung Schnittstelle: RS232, ASCII-Protokoll Analogausgänge: 6, programmierbar Digitaleingänge / - Ausgänge: 4 Eingänge; 4 Relais-Ausgänge Versorgungsspannung: 100- 240 VAC 50/60 Hz Abmessung: 1/2 19" , 2 HE * mit zukünftigen Firmware Updates

Part number: BT-TFM260

2.080,00 €

TFM260 Quarz Monitor

TFM260 Quarz Monitor für 4 Sensoren mit Touch Screen Bedienung unterstützt 4 externe Ozillatoren; (bis zu 6 optional) und 1x QMB6 "High Resolution" Auswerteeinheit; Max. Auflösung: 0,01 Hz @10 Hz Abtastfrequenz Abtastung: 0.5, 1, 2, 4, 10 Hz einstellbar Messwertfilterung: 1-20 Samples mit Gewichtung Schnittstelle: RS232, Ethernet; ASCII-Protokoll (SQM160) Analogausgänge: 6, programmierbar Digitaleingänge / - Ausgänge: 4 Eingänge; 4 Relais-Ausgänge Versorgungsspannung: 100- 240 VAC 50/60 Hz Abmessung: 1/2 19" , 2 HE

Part number: BT-TFM260-4C

2.495,00 €

UHV Doppel-Messkopf mit Shutter

UHV Doppelmesskopf auf CF40 mit Shutter pneumatischer Shutter 2 x Wasser 3/16"-Rohre; 1x Pneumatik 3/16" Rohr 2x (Vak. Microdot ; ATM: BNC) 2x Vakuum-Microdot-Kabel

Part number: MV-800-008

3.750,00 €

UHV Doppellmesskopf mit CF40 Durchführung

UHV Doppelmesskopf mit CF40 Durchführung und Shutter 2 x Wasser 3/16"-Rohre; 2x 3/16" Rohre für HF, 1x Pneumatikleitung inkl. eingebettetem In-Vakuum-Kabel ausheizbar bis 300°C CF40 Flansch drehbar; Länge kundenseitig spezifizierbar;

Part number: MV-920-005

4.375,00 €

UHV Einfach-Messkopf

UHV Einzelmesskopf mit CF40 Durchführung 2 x Wasser 3/16 in Rohre; 1x 3/16 in Rohr für HF inkl. eingebettetem In-Vakuum-Kabel; ausheizbar bis 300°C kundenspezifische Länge und Biegung möglich

Part number: MV-920-002

1.450,00 €

UHV Einfach-Messkopf auf CF40

UHV Einzelmesskopf auf CF40 Montage von oben 2x Wasser 3/16 in Rohre; 1x 3/16 in Rohr für HF geschweißt auf kundenspezifische Länge (bitte angeben)

Part number: MV-920-001

1.450,00 €

UHV Einfach-Messkopf auf CF40 (2 3/4 in.)

UHV Einfach-Messkopf auf CF40 (2 3/4 in) 2x Wasser 3/16 in-Rohre; Vakuum: Microdot - Atmosphäre: BNC inklusive In-Vakuum Kabel Mikrodot-Mikrodot Länge spezifizierbar

Part number: MV-800-003

1.290,00 €

UHV Einfach-Messkopf mit CF40 Durchführung

UHV Einzelmesskopf mit CF40 Durchführung und Shutter 2 x Wasser 3/16 in-Rohre; 1x 3/16 in Rohre für HF inkl. eingebettetem In-Vakuum-Kabel

Part number: MV-920-003

3.605,00 €

UHV Einfach-Messkopf mit CF63 Durchführung

UHV Einzelmesskopf mit CF63 Durchführung und Shutter 2 x Wasser 3/16"-Rohre; 1x 3/16" Rohre für HF inkl. eingebettetem In-Vakuum-Kabel

Part number: MV-920-003-CF63

3.715,00 €

UHV Einfach-Messkopf mit miniCF

UHV Einzelmesskopf auf CF40 Durchführung mit zus. MiniCF 2 x Wasser 3/16"-Rohre; 1x 3/16" Rohre für HF inkl. eingebettetem In-Vakuum-Kabel; ausheizbar bis 300°C gem. Zeichnung ST021-040-000-021-01

Part number: MV-920-002-MINI

1.780,00 €

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UPDATE 2025-07-21: